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Micro-wire Pirani with temperature-stabilized Environment

  • We present a Pirani vacuum gauge with an actively temperature-stabilized environment. The heated sensor element is surrounded by two elements that are temperaturecontrolled to a certain level below the temperature of the heated sensor element. The idea is to create a homogeneous temperature distribution, which allows keeping the ambient temperature constant, thus increasing the accuracy and repeatability of vacuum measurements.

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Verfasserangaben:M. Fuad Rahiman, Dominik Berndt, Rupert Schreiner
URN:urn:nbn:de:bvb:860-opus4-3614
DOI:https://doi.org/10.57688/361
ISBN:978-3-9818439-6-5
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Tagungsband 3. Symposium Elektronik und Systemintegration ESI
Herausgeber*in:Ivanov Artem, Bicker Marc, Patzelt Peter
Dokumentart:Konferenzveröffentlichung
Sprache:Englisch
Jahr der Fertigstellung:2022
Veröffentlichende Institution:Hochschule für Angewandte Wissenschaften Landshut
Datum der Freischaltung:23.06.2023
Erste Seite:52
Letzte Seite:59
Bemerkung:
Die Konferenzveröffentlichung erschien im Tagungsband zum 3. Symposium Elektronik und Systemintegration ESI 2022 am 06. April 2022 an der Hochschule Landshut. Hrsg.: Artem Ivanov, Marc Bicker und Peter Patzelt. Hochschule Landshut, 2022. ISBN 978-3-981439-6-5
Fakultät / Institut:Cluster Mikrosystemtechnik
Sammlungen:Symposium Elektronik und Systemintegration / Tagungsband 3. Symposium Elektronik und Systemintegration ESI 2022: Fachbeiträge; ISBN 978-3-9818439-4-1
Lizenz (Deutsch):Keine Creative Commons Lizenz (es gilt das deutsche Urheberrecht)