Micro-wire Pirani with temperature-stabilized Environment
- We present a Pirani vacuum gauge with an actively temperature-stabilized environment. The heated sensor element is surrounded by two elements that are temperaturecontrolled to a certain level below the temperature of the heated sensor element. The idea is to create a homogeneous temperature distribution, which allows keeping the ambient temperature constant, thus increasing the accuracy and repeatability of vacuum measurements.
Verfasserangaben: | M. Fuad Rahiman, Dominik Berndt, Rupert Schreiner |
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URN: | urn:nbn:de:bvb:860-opus4-3614 |
DOI: | https://doi.org/10.57688/361 |
ISBN: | 978-3-9818439-6-5 |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Tagungsband 3. Symposium Elektronik und Systemintegration ESI |
Herausgeber*in: | Ivanov Artem, Bicker Marc, Patzelt Peter |
Dokumentart: | Konferenzveröffentlichung |
Sprache: | Englisch |
Jahr der Fertigstellung: | 2022 |
Veröffentlichende Institution: | Hochschule für Angewandte Wissenschaften Landshut |
Datum der Freischaltung: | 23.06.2023 |
Erste Seite: | 52 |
Letzte Seite: | 59 |
Bemerkung: | Die Konferenzveröffentlichung erschien im Tagungsband zum 3. Symposium Elektronik und Systemintegration ESI 2022 am 06. April 2022 an der Hochschule Landshut. Hrsg.: Artem Ivanov, Marc Bicker und Peter Patzelt. Hochschule Landshut, 2022. ISBN 978-3-981439-6-5 |
Fakultät / Institut: | Cluster Mikrosystemtechnik |
Sammlungen: | Symposium Elektronik und Systemintegration / Tagungsband 3. Symposium Elektronik und Systemintegration ESI 2022: Fachbeiträge; ISBN 978-3-9818439-4-1 |
Lizenz (Deutsch): | Keine Creative Commons Lizenz (es gilt das deutsche Urheberrecht) |