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Ultrashort pulsed laser backside ablation of fused silica

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Metadaten
Author:Simon Schwarz, Stefan RungORCiD, Cemal Esen, Ralf HellmannORCiD
Parent Title (German):Optics Express
Document Type:Article
Language:German
Year of Completion:2021
Release Date:2021/09/20
GND Keyword:Femtosekundenlaser; Quarzglas; Mikrobearbeitung
Volume:29
Issue:15
First Page:23477
Last Page:23486
Urheberrecht:0
research focus :Intelligent Systems / Intelligent Sensors and Signals
Materials / Innovative Material Processing
Licence (German):Keine Lizenz - es gilt das deutsche Urheberrecht
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