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The heterogeneous nature of deposits from hexamethyldisiloxane/oxygen plasmas

Metadaten
Author:Morgan Alexander, Robert Short, Frank Jones, Manfred StollenwerkORCiD, Gerd Mathar, Jochen Zabold, Walter Michaeli
Parent Title (English):Ceramic films and coatings
Document Type:Article
Language:English
Year of Completion:1995
Release Date:2019/10/16
GND Keyword:Hexamethyldisiloxan; Sauerstoff; Plasma
Volume:1995
Issue:54
First Page:87
Last Page:99
Urheberrecht:0
research focus :Materials / Innovative Material Processing
Materials / Material Testing & Sensor Technology
Licence (German):Keine Lizenz - es gilt das deutsche Urheberrecht
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