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Direct Visualisation of Stored Charges in PECVD ONO-Layers by Kelvin-Probe-Force-Microscopy

Metadaten
Author:Florian Emmerich, Christiane Thielemann
Parent Title (German):15th International Symposium on Electrets ISE
Place of publication:Baltimore, USA
Document Type:Conference Proceeding
Language:English
Year of Completion:2014
Release Date:2015/06/09
GND Keyword:Kelvin-Sonde; Rasterkraftmikroskop
Volume:2014
Urheberrecht:0
research focus :Intelligent Systems / Artifical Intelligence and Data Science
Intelligent Systems / Clean Tech
Intelligent Systems / Intelligent Sensors and Signals
Materials / Material Testing & Sensor Technology
Licence (German):Keine Lizenz - es gilt das deutsche Urheberrecht
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