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Micro-structured optical waveguide fabrication in PMMA using low frequency reactive ion etching

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Metadaten
Author:Georg Koller, Steffen HesslerORCiD, Manuel Rosenberger, Stefan Belle, Ralf HellmannORCiD
Parent Title (English):Proceedings of the XXVI International MicroCAD Conference – Sensing Technologies, Miskolc (Hungary)
Document Type:Conference Proceeding
Language:English
Year of Completion:2012
Release Date:2014/01/16
Tag:waveguide fabrication
GND Keyword:Wellenleiter
research focus :Intelligent Systems / Intelligent Sensors and Signals
Materials / Innovative Material Processing
Materials / Material Testing & Sensor Technology
Licence (German):Keine Lizenz - es gilt das deutsche Urheberrecht
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