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Laser Alloying Nickel on 4H-Silicon Carbide Substrate to Generate Ohmic Contacts

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Metadaten
Author:Benedikt Adelmann, Andreas Hürner, Tobias Schlegel, Anton Bauer, Lothar Frey, Ralf HellmannORCiD
Parent Title (English):Journal of Laser Micro/Nanoengineering
Document Type:Article
Language:English
Year of Completion:2013
Release Date:2014/08/27
GND Keyword:Ohm-Kontakt; Nickellegierung
Volume:8
Issue:1
First Page:97
Last Page:101
Urheberrecht:0
research focus :Intelligent Systems / Intelligent Sensors and Signals
Materials / Innovative Material Processing
Materials / Material Testing & Sensor Technology
Licence (German):Keine Lizenz - es gilt das deutsche Urheberrecht
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