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Laser thin film ablation with multiple beams and tailored beam profiles

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Metadaten
Author:Stefan RungORCiD, Christian Bischoff, Erwin Jäger, Udo Umhofer, Ralf HellmannORCiD
Parent Title (English):Proceedings of SPIE 8967, Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XIX
Document Type:Conference Proceeding
Language:English
Year of Completion:2014
Release Date:2014/08/28
Tag:Ablation; Beam-Splitter; Parallel Processing; Thin film; Top-Hat
GND Keyword:Laserablation; Dünnschichttechnik
Volume:8967
Urheberrecht:1
research focus :Intelligent Systems / Intelligent Sensors and Signals
Materials / Innovative Material Processing
Materials / Material Testing & Sensor Technology
Licence (German):Keine Lizenz - es gilt das deutsche Urheberrecht
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