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ITO thin film laser patterning by picosecond laser

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Metadaten
Author:Anna Risch, Ralf HellmannORCiD
Parent Title (English):Proceeding XXV microCAD, International scientific conference, 2011, Section K: Material science/Material processing technologies
Document Type:Conference Proceeding
Language:English
Year of Completion:2011
Date of first Publication:2014/05/06
Release Date:2014/05/06
GND Keyword:Laserbearbeitung
First Page:63
Last Page:68
research focus :Intelligent Systems / Intelligent Sensors and Signals
Materials / Innovative Material Processing
Materials / Material Testing & Sensor Technology
Licence (German):Keine Lizenz - es gilt das deutsche Urheberrecht
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