1547 2011 deu 5 conferenceobject 0 2011-01-01 -- -- Vertikal angeordnete Kohlenstoff Nanoröhren (engl. vertically aligned carbon nanotubes; VA-CNT) können seit einigen Jahren mit hoher Reproduzierbarkeit durch CVD-Verfahren bei 600 °C - 800 °C auf Katalysatorschichten aus Aluminium und Eisen hergestellt werden. Sie zeigen sehr gute Eigenschaften im Bereich der Feldemission, aber auch in sub-µm Vias. Allerdings sind die relativ hohen Temperaturen oft nicht prozesskompatibel und müssen vermieden werden um keine Degradation darunterliegender Strukturen in Kauf zu nehmen. Da die Reduzierung der CVD-Temperaturen beim Wachstum der VA-CNTs unter 600 °C zu hohen Defektraten führt, schlagen wir ein neues Verfahren zum Transfer der VA-CNTs bei niedrigen Temperaturen vor. In einer Kombination aus Flip-Chip- und Stempel-Technik werden hoch geordnete, mikrostrukturierte VA-CNTs auf temperaturempfindliche Substrate aus Kalk-Natron-Glas, Gold oder Kupfer bei Temperaturen von 100 °C transferiert. Die vertikale Struktur der Nanoröhren bleibt dabei erhalten. Eine leitende Verbindung kann durch ein leitfähiges, bio-kompatibles Polymer gewährleistet werden, was eine Erweiterung des Einsatzbereichs auf Life-Science Applikationen erlauben würde. Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop, Stuttgart, Deutschland, 2011 0 Keine Lizenz - es gilt das deutsche Urheberrecht Christoph Nick Christiane Thielemann Ravi Joshi Jörg Schneider deu swd Kohlenstoff-Nanoröhre Clean Tech Intelligent Sensors and Signals Material Testing & Sensor Technology