@inproceedings{DoehringProbstZeising2018, author = {D{\"o}hring, Thorsten and Probst, Anne-Catherine and Zeising, Sebastian}, title = {Analyse der Schichtspannungen von R{\"o}ntgenspiegeln mit einem Weißlichtinterferometer}, series = {DGaO-Proceedings}, volume = {2018}, booktitle = {DGaO-Proceedings}, number = {2018}, publisher = {Deutsche Gesellschaft f{\"u}r angewandte Optik e.V.}, address = {Erlangen}, organization = {Hochschule Aschaffenburg}, issn = {1614-8436}, pages = {P10-1 -- P10-2}, year = {2018}, abstract = {An der Hochschule Aschaffenburg werden iridiumbasierte Schichtsysteme f{\"u}r r{\"o}ntgenastronomische Anwendungen hergestellt. Unter Nutzung eines Weißlichtinterferometers wurde hierf{\"u}r ein Verfahren zur Vermessung der inh{\"a}renten Schichtspannungen entwickelt. Erste vielversprechende Ergebnisse von spannungsarmen R{\"o}ntgenreflexionsbeschichtungen werden vorgestellt.}, subject = {R{\"o}ntgenspiegel}, language = {de} }