@inproceedings{NickThielemannJoshietal.2011, author = {Nick, Christoph and Thielemann, Christiane and Joshi, Ravi and Schneider, J{\"o}rg}, title = {Niedrigtemperatur-Transfer von vertikal ausgerichteten Kohlenstoff Nanor{\"o}hren auf Mikrostrukturen}, series = {Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop, Stuttgart, Deutschland, 2011}, booktitle = {Mikro-Nano-Integration - 3. GMM-Workshop, Stuttgart, Deutschland, 2011}, pages = {5}, year = {2011}, abstract = {Vertikal angeordnete Kohlenstoff Nanor{\"o}hren (engl. vertically aligned carbon nanotubes; VA-CNT) k{\"o}nnen seit einigen Jahren mit hoher Reproduzierbarkeit durch CVD-Verfahren bei 600 °C - 800 °C auf Katalysatorschichten aus Aluminium und Eisen hergestellt werden. Sie zeigen sehr gute Eigenschaften im Bereich der Feldemission, aber auch in sub-µm Vias. Allerdings sind die relativ hohen Temperaturen oft nicht prozesskompatibel und m{\"u}ssen vermieden werden um keine Degradation darunterliegender Strukturen in Kauf zu nehmen. Da die Reduzierung der CVD-Temperaturen beim Wachstum der VA-CNTs unter 600 °C zu hohen Defektraten f{\"u}hrt, schlagen wir ein neues Verfahren zum Transfer der VA-CNTs bei niedrigen Temperaturen vor. In einer Kombination aus Flip-Chip- und Stempel-Technik werden hoch geordnete, mikrostrukturierte VA-CNTs auf temperaturempfindliche Substrate aus Kalk-Natron-Glas, Gold oder Kupfer bei Temperaturen von 100 °C transferiert. Die vertikale Struktur der Nanor{\"o}hren bleibt dabei erhalten. Eine leitende Verbindung kann durch ein leitf{\"a}higes, bio-kompatibles Polymer gew{\"a}hrleistet werden, was eine Erweiterung des Einsatzbereichs auf Life-Science Applikationen erlauben w{\"u}rde.}, subject = {Kohlenstoff-Nanor{\"o}hre}, language = {de} }