TY - THES A1 - Emmerich, Florian T1 - Eigenschaften und Anwendungen von Dünnschicht-Elektretmaterialien KW - Dünnschichttechnik KW - Elektret Y1 - 2020 UR - https://opus4.kobv.de/opus4-h-ab/frontdoor/index/index/docId/1671 ER -