TY - CONF A1 - Bischoff, Christian A1 - Jäger, Erwin A1 - Rung, Stefan A1 - Hellmann, Ralf T1 - Diffractive beam shaping optics for efficient micromachining T2 - Proceedings of the LASYS (Internationale Fachmesse für Laser-Materialbearbeitung) – SLT (Stuttgarter Lasertage) 2012 KW - micromachining KW - Laserbearbeitung Y1 - 2013 UR - https://opus4.kobv.de/opus4-h-ab/frontdoor/index/index/docId/94 ER -