Messsystem und Messverfahren zur Messung einer Oberflächendehnung mittels eines plasmonischen Reflektors (Patent, DE102013219149A1)
Author: | Andreas Schiffler |
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Persistent identifier: | https://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?action=bibdat&docid=DE102013219149A1 |
Document Type: | Other |
Language: | English |
Year of publication: | 2013 |
Release Date: | 2023/10/31 |