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Messstrategien für die zerstörungsfreie Schichtmessung mittels Ultraschallmikroskopie Strategies for the Non-Destructive Characterization of Thin Layers with Scanning Acoustic Microscopy

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Metadaten
Author:Robert Schmitt, Björn Dietrich, Philip Hafner, Bastian Engelmann
Parent Title (English):tm - Technisches Messen
Document Type:Article
Language:English
Year of publication:2008
Release Date:2023/08/17
Volume:75
Issue:11
Pages/Size:9
First Page:577
Last Page:585
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