Projektionsobjektiv für EUV-Mikrolithographie
Author: | Boris Bittner, N. Wabra, S. Schneider, R. Schneider, H. Wagner, C. Wald, R. Iliew, T. Schicketanz, T. Gruner |
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Subtitle (German): | Folienelement und Verfahren zur Herstellung eines Projektionsobjektivs mit Folienelement |
Document Type: | Article |
Language: | German |
Year of publication: | 2013 |
Release Date: | 2017/09/06 |
Institutes and faculty: | Fakultäten / Fakultät für angewandte Natur- und Geisteswissenschaften |