Improvement of the active layers of a MIS-structure semiconductor gas sensor for HF and F
| Author: | Jürgen Hartmann |
|---|---|
| Document Type: | Conference Proceeding |
| Language: | English |
| Year of publication: | 1995 |
| Publishing Institution: | Hochschule für Angewandte Wissenschaften Würzburg-Schweinfurt |
| Release Date: | 2020/12/04 |
| Dewey Decimal Classification: | 6 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 68 Industrielle Fertigung für einzelne Verwendungszwecke / 681 Präzisionsinstrumente und andere Geräte |
