TY - JOUR A1 - Bittner, Boris A1 - Zellner, J. A1 - Wabra, N. A1 - von Hodenberg, M. A1 - Schneider, S. A1 - Schneider, R. A1 - Schob, A. A1 - Rudolph, G. A1 - Gratzke, A. A1 - Moffat, A. T1 - Projection objective of a mcrolithographic projection exposure apparatus Y1 - 2013 ER -