TY - JOUR A1 - Bittner, Boris A1 - Wabra, N. A1 - Schneider, S. A1 - Schneider, R. A1 - Wagner, H. A1 - Wald, C. A1 - Iliew, R. A1 - Schicketanz, T. A1 - Gruner, T. T1 - Projektionsobjektiv für EUV-Mikrolithographie BT - Folienelement und Verfahren zur Herstellung eines Projektionsobjektivs mit Folienelement Y1 - 2013 ER -