TY - JOUR A1 - Pfeifer, Tilo A1 - Dussler, G A1 - Engelmann, Bastian T1 - Visualisierungsmethoden für Mikrostrukturen mit dem konfokalen Laser-Scanning-Mikroskop JF - VDI-Berichte Y1 - 2003 SP - 175 EP - 185 ER - TY - CHAP A1 - Pfeifer, Tilo A1 - Dussler, G. A1 - Engelmann, Bastian T1 - Methods and sensors for the observation of micro assembly T2 - Conference Proceeding of Micro System 2003 in Munich Y1 - 2003 SP - 139 EP - 145 ER -