TY - JOUR A1 - Bittner, Boris A1 - Wabra, N. A1 - Schneider, S. A1 - Schneider, R. A1 - Wagner, H. A1 - Wald, C. A1 - Iliew, R. A1 - Schicketanz, T. A1 - Gruner, T. T1 - Projektionsobjektiv für EUV-Mikrolithographie Y1 - 2013 UR - https://opus4.kobv.de/opus4-fhws/frontdoor/index/index/docId/1548 ER -