TY - JOUR A1 - Driessen, Sascha A1 - Engelmann, Bastian T1 - Methoden und Sensoren zur überwachung von Handhabungs-und Fügeprozessen in der Mikrosystemtechnik (Methods and Sensors for the Control of Handling and Assembly Processes in Microtechnology) T2 - tm - Technisches Messen Y1 - 2004 UR - https://opus4.kobv.de/opus4-fhws/frontdoor/index/index/docId/3882 VL - 71 IS - 7-8 SP - 404 EP - 416 ER -