@article{BittnerWabraSchneideretal.2013, author = {Boris Bittner and N. Wabra and S. Schneider and R. Schneider and H. Wagner and C. Wald and R. Iliew and T. Schicketanz and T. Gruner}, title = {Projektionsobjektiv f{\"u}r EUV-Mikrolithographie}, series = {Folienelement und Verfahren zur Herstellung eines Projektionsobjektivs mit Folienelement}, year = {2013}, }