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Towards macroporous phononic crystal based structures for FBAR applications. Theoretical investigation of technologically competitive solutions

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Metadaten
Author:Aleksandr Oseev, Nikolay V. Mukhin, Ralf Lucklum, Mikhail Zubtsov, Marc-Peter Schmidt, Dmitrii Redka, Andrey Kozyrev, Sören HirschORCiDGND
DOI:https://doi.org/10.1007/s00542-017-3616-1
Parent Title (English):Microsystem Technologies
Document Type:Article
Language:English
Year of Publishing:2018
Date of Publication (online):2020/02/28
Publishing Institution:Technische Hochschule Brandenburg
Release Date:2020/02/28
Volume:24
Issue:5
First Page:2389
Last Page:2399
Institutes:Fachbereich Technik
Dewey Decimal Classification:Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Angewandte Physik
University Bibliography:Hochschulbibliografie
Licence (German):Keine Nutzungslizenz vergeben - es gilt das deutsche Urheberrecht
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