@phdthesis{Erlbacher2008, author = {Tobias Erlbacher}, title = {Schichten hoher Dielektrizit{\"a}tskonstante f{\"u}r den Einsatz in ladungsbasierten nichtfl{\"u}chtigen Speicherzellen}, type = {doctoralthesis}, school = {Friedrich-Alexander-Universit{\"a}t Erlangen-N{\"u}rnberg (FAU)}, year = {2008}, }