@phdthesis{Kistler2006, author = {Siegbert Kistler}, title = {Dreidimensionale Topographiesimulation der ionisierten Metallplasma-Abscheidung in der Halbleitertechnologie}, type = {doctoralthesis}, school = {Friedrich-Alexander-Universit{\"a}t Erlangen-N{\"u}rnberg (FAU)}, year = {2006}, }