@phdthesis{Tollkuehn2006, author = {Bernd Tollk{\"u}hn}, title = {Neue Methoden zur automatischen Kalibrierung von Modellparametern f{\"u}r die Simulation optischer Lithographieprozesse}, type = {doctoralthesis}, school = {Friedrich-Alexander-Universit{\"a}t Erlangen-N{\"u}rnberg (FAU)}, year = {2006}, }