@phdthesis{Lemberger2010, author = {Martin Lemberger}, title = {Chemische Gasphasenabscheidung von Metallsilicatschichten aus Einquellen-Ausgangsstoffen f{\"u}r Anwendungen in der Mikroelektronik}, type = {doctoralthesis}, school = {Friedrich-Alexander-Universit{\"a}t Erlangen-N{\"u}rnberg (FAU)}, year = {2010}, }