@phdthesis{Heuer2006, author = {Heuer, Henning}, title = {Auf Tantal-Silizium basierende Diffusionsbarrieren zur Verkapselung funktionaler Bauelemente}, url = {http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus-10}, school = {BTU Cottbus - Senftenberg}, year = {2006}, abstract = {Flexible D{\"u}nnschichtsolarzellen erfordern eine ebenfalls flexible Verkapselung, um das Absorbermaterial (z.B. Kupfer - Indium - 2 Selenide (CIS) vor der Eindiffusion von Feuchtigkeit und anderen Umwelteinfl{\"u}ssen zu sch{\"u}tzen. Diffusionsbarrieren auf Tantal-Silizium Basis sind z. Z. bevorzugtes Material um die Kupferdiffusion in modernen Halbleiterbauelementen zu verhindern. In dieser Arbeit werden Tantal-Silizium-Stickstoff und Tantal-Silizium-Sauerstoff Schichten f{\"u}r die Verkapselung von zuk{\"u}nftigen flexiblen D{\"u}nnschichtsolarzellen untersucht und optimiert. CIS-Solarmodule wurden mit d{\"u}nnen, auf Tantal basierten Barrieren beschichtet. Die Barrierewirkung der Verkapselung wurde untersucht, indem die Ver{\"a}nderungen des Wirkungsgrades d{\"u}nnschichtverkapselter Module w{\"a}hrend eines 1000-st{\"u}ndigen beschleunigten Alterungstest bestimmt wurden. Eine wesentliche Verbesserung der Barrierewirkung gegen die Eindiffusion von Feuchtigkeit wurde mit einer reaktiv gesputterten Doppelschicht aus 250 nm Ta-Si-O und 15 nm Ta- Si-N erreicht. Dieses Doppelschichtsystem erreicht bei einer Dicke von 265 nm eine vergleichbare Schutzwirkung wie eine ca. 5 µm dicke Schicht aus SiO2.}, subject = {Tantal; Solarzelle; Verkapselung; Diffusionsbarrieren; Flexible Solarzellen; Tantal-Silizium; D{\"u}nne Schichten; Tantal; Solar cell; Encapsulation}, language = {de} }