@phdthesis{Stolz2023, author = {Stolz, Michael}, title = {Ermittlung und Beurteilung der Zuverl{\"a}ssigkeit von lateralen elektrostatischen Nanoaktoren und ihr Einfluss auf zuk{\"u}nftige Anwendungen}, doi = {10.26127/BTUOpen-6533}, url = {http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-65332}, school = {BTU Cottbus - Senftenberg}, year = {2023}, abstract = {In dieser Dissertation wurden Zuverl{\"a}ssigkeitsaspekte der NED-Aktoren betrachtet und ihre Langzeitstabilit{\"a}t untersucht. Die Langzeituntersuchungen an einzelnen NED-Aktoren haben gezeigt, dass insbesondere große elektrische Felder zur Verk{\"u}rzung der Lebensdauer der Aktorik f{\"u}hren k{\"o}nnen. Elektrische Felder beschleunigen Oxidation der NED-Siliziumelektroden. Dabei wurden zwei unterschiedliche Oxidationsmechanismen beobachtet: die anodische Oxidation von Siliziumelektroden im Isolatorbereich und die feldemissionsunterst{\"u}tzte Oxidation. Die beiden Degradationsmechanismen beg{\"u}nstigen das Wachstum des Siliziumoxides an Siliziumelektroden und resultieren in der Ver{\"a}nderung der Oszillationseigenschaften der NED-Aktoren mit der Zeit. Weitere Untersuchungen an den NED-basierten Anwendungen - Mikrolautsprecher haben verdeutlicht, dass solche Faktoren wie Feuchtigkeit die Degradation am meisten forcieren. Durch Passivierung der Aktoren, wobei sie z. B. mit Aluminiumoxid im ALD-Verfahren verkapselt werden, k{\"o}nnen unerw{\"u}nschte Degradationsmechanismen deutlich verlangsamt werden. Durch eine geeignete Materialwahl bei der Verkapselung kann sogar gleichzeitig die Effizienz der Aktoren verbessert werden.}, subject = {Nanoaktor; NED; Zuverl{\"a}ssigkeit; MEMS; Nanoscopic electrostatic drive; Nano actuators; Reliability; Mikroaktor; MEMS; Zuverl{\"a}ssigkeit}, language = {de} }