@phdthesis{Sicker2018, author = {Sicker, Cornelius}, title = {Grundlegende Untersuchungen zur Phasenmodulation von Licht im Subnanometer-Bereich mittels diffraktiver Mikrospiegelarrays}, url = {http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-44854}, school = {BTU Cottbus - Senftenberg}, year = {2018}, abstract = {Mikrospiegelarrays (MMA) erm{\"o}glichen {\"u}ber ihre programmierbare Oberfl{\"a}chentopographie die Phasenmodulation von Licht und fungieren so als Fl{\"a}chenlichtmodulatoren (SLM). Die Phasengenauigkeit, die profilometrisch auf wenige Nanometer kalibriert werden kann, bestimmt die optische Leistungsf{\"a}higkeit der MMAs und ihre Charakterisierung und Verbesserung sind somit essentiell f{\"u}r das Erschließen neuer Anwendungen. Um einen Zugang zur Phasenmodulation diffraktiver MMAs im Subnanometer-Bereich zu schaffen, werden eine ortsaufgel{\"o}ste Streulichtmesstechnik vorgeschlagen, deren Entwicklung beschrieben und experimentelle Ergebnisse diskutiert. Multispektrale Streulichtmessungen sind konsistent mit Beugungsrechnungen, die auf interferometrisch bestimmten Rauigkeitsparametern der Mikrospiegeloberfl{\"a}che beruhen, und offenbaren MMA-Streulicht < 10-4, womit erstmals MMA-Kontraste > 10 000 nachgewiesen werden konnten. Durch die hohe Messempfindlichkeit und Reproduzierbarkeit k{\"o}nnen {\"A}nderungen der MMA-Oberfl{\"a}chentopographie von < 1nm detektiert werden, was in einer intensit{\"a}tsbasierten Kalibrierung der Phasenmodulation Anwendung findet, mit der Graustufen auf wenige Promille genau eingestellt werden k{\"o}nnen. Diese Ergebnisse demonstrieren die hohe Attraktivit{\"a}t eines Streulichtansatzes f{\"u}r die Charakterisierung und Kalibrierung diffraktiver MMAs - und m{\"o}glicherweise auch anderer SLMs.}, subject = {Mikrospiegelarray; Fl{\"a}chenlichtmodulator; Streulicht; Phasenmodulation; Beugung; Micromirror array; Spatial light modulator; Phase modulation; Diffraction; Scattered light; Phasenmodulation; Beugung}, language = {de} }