@phdthesis{Schroeter2011, author = {Schroeter, Olaf}, title = {Herstellung und Charakterisierung von PVD-Schichten auf Basis der Cr2AlC-MAX-Phase}, url = {http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus-22622}, school = {BTU Cottbus - Senftenberg}, year = {2011}, abstract = {Eine wichtige Aufgabe der Werkstoffwissenschaft ist die Verbesserung von Materialeigenschaften. Besonders bei Hochleistungsmaterialien, die extremen Belastungen ausgesetzt sind, finden kontinuierlich Weiterentwicklungen statt. Dabei ist es von wirtschaftlichem Interesse, die Lebensdauer von Bauteilen durch hochwertige Beschichtungen zu verl{\"a}ngern und damit Kosten zu sparen. D{\"u}nne Schichten eignen sich besonders gut, da sie durch ihre speziellen Eigenschaften die Eigenschaften des Grundmaterials an der Oberfl{\"a}che erg{\"a}nzen und es so gegen {\"a}ußere Einfl{\"u}sse, wie Verschleiß, Korrosion oder Oxidation, sch{\"u}tzen. Die vorliegende Arbeit widmet sich daher nanostrukturierten Cr2AlC-D{\"u}nnschichten und der Verbesserung ihrer Eigenschaften. Diese Schichten werden durch verschiedene Sputterverfahren hergestellt. Die beiden Herstellungsverfahren Gleichstrom-Magnetronsputtern und High Power Impulse Magnetron Sputtering (HIPIMS) werden im Rahmen dieser Arbeit verglichen. Homogene Schichten wurden durch ein gesintertes Cr2AlC-Target auf Substrate der Nickelbasislegierung IN718 aufgetragen. Dabei wurde der Einfluss der Prozessparameter Kammerdruck, Substrattemperatur und BIAS-Spannung auf das Plasma, die Schichtentwicklung und den daraus resultierenden mechanischen Eigenschaften der erzeugten Schichten untersucht. Um zu zeigen, dass die Ergebnisse außerhalb des Forschungskontextes reproduzierbar sind, wurde eine Beschichtungsanlage industriellen Maßstabes verwendet. Die experimentellen Ergebnisse zeigen, dass durch das HIPIMS-Verfahren, im Vergleich zum Gleichstrom-Magnetronsputtern, der Metallionenanteil auf etwa 70 \% erh{\"o}ht und die Ionenenergien erheblich gesteigert werden. Dies f{\"u}hrt zu {\"A}nderungen von Schichtmorphologie und Schichteigenschaften. Beide Sputterverfahren eignen sich generell zur Herstellung von Cr2AlC-Schichten in einer industriellen Beschichtungsanlage. Durch Variation der Herstellungsparameter lassen sich unterschiedliche Gef{\"u}ge, Eigenspannungszust{\"a}nde und Texturen einstellen. Dadurch werden Haftfestigkeit und Erosionsbest{\"a}ndigkeit der Schicht erheblich verbessert.}, subject = {D{\"u}nne Schicht; Chrom; Aluminium; Kohlenstoff; PVD; HIPIMS; Beschichtungstechnik; MAX-Phase; Erosion; PVD; HPPMS; Coatings; Max phase; Erosion}, language = {de} }