@masterthesis{Herold2015, type = {Bachelor Thesis}, author = {Herold, Steven}, title = {Nasschemisches {\"A}tzen von gesputterten W- und Mo-D{\"u}nnschichten f{\"u}r SAW-Anwendungen}, url = {http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-40238}, school = {BTU Cottbus - Senftenberg}, year = {2015}, abstract = {Akustische Oberfl{\"a}chenwellen Ger{\"a}te dienen als drahtlose Sensoren in verschiedenen Anwendungsgebieten. Neueste Forschungen zielen darauf ab diese Ger{\"a}te als Temperatursensoren bei hohen Temperaturbereichen (T>300 °C) und in rauen Umgebungsbedingungen nutzbar zu machen. Entsprechend m{\"u}ssen herk{\"o}mmliche Materialien, die f{\"u}r die Substrate und die interdigitalwandler Fingerelektroden verwendet werden, wie mehrschichtige {\"U}berz{\"u}ge aus Al oder Cu, gegen Materialien die spezifische temperaturabh{\"a}ngige Effekte aufweisen ausgetauscht werden. Die Standardmethode des Elektronenstrahlverdampfens ist aufgrund der hohen Schmelzpunkte f{\"u}r das Auftragen von hochtemperaturstabilen Elektrodenmaterialien nicht geeignet. Kathodenzerst{\"a}ubung ist eine weitere Beschichtungsmethode, die ohne Optimierung ebenfalls nicht f{\"u}r die lift-off Strukturierung geeignet ist. Aufgrund von sehr hohen Ar Gasdr{\"u}cken von ca. 10-1 Pa kommt es zur Abscheidung an den Seitenw{\"a}nden des Fotolacks, was zur St{\"o}rung des lift-off Prozesses f{\"u}hrt. In dieser Arbeit wurde das chemische {\"A}tzen von Wolfram und Molybd{\"a}n D{\"u}nnschichten als ein weiterer Schritt zwischen dem Kathodenzerst{\"a}uben, zum Beschichten von d{\"u}nnen W bzw. Mo Fingerelektroden, und dem lift-off Prozess zur Entfernung der Seitenwandbeschichtung und der erfolgreichen Strukturierung der Interdigitalwandler untersucht.}, subject = {SAW-Ger{\"a}te; Oberfl{\"a}chenwellenelement; Wolfram-Elektroden; Magnetronsputtern; Nasschemisches {\"A}tzen; Lift-off Strukturierung; Magnetronsputtern; Tungsten electrodes; Magnetron sputtering; Wet-chemical etching; Lift-off structuring; WIG-Schweißen; Nass{\"a}tzen; Abhebetechnik; SAW devices}, language = {de} }