@phdthesis{Tang2010, author = {Stanley Tang}, title = {Die prozess- und str{\"o}mungsabh{\"a}ngige Schichtabscheidung beim Hohlkathoden-Gasfluss-Sputtern untersucht an Titan- und Wolframschichten}, type = {doctoralthesis}, school = {BTU Cottbus - Senftenberg}, year = {2010}, }