Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
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Im Europäischen EMPIR-Projekt „NanoXSpot“ (Measurement of the focal spot size of Xray tubes with spot sizes down to 100 nm) werden neue Messmethoden für Brennflecke von Röntgenröhren entwickelt. Teil des Projektes ist die Entwicklung eines zur Lochkameramethode äquivalenten Messverfahrens für kleine Brennflecke. ASTM E 1165-20, Annex A, beschreibt die Bestimmung von Brennfleckgrößen aus Kantenprofilen von Lochaufnahmen für Röntgenröhren mit Brennflecken > 50 μm. Es wurde bereits vorgeschlagen über die Analyse der richtungsabhängigen Kantenunschärfe einer Lochblende und anschließender CT-Rekonstruktion die Intensitätsverteilung des Brennflecks äquivalent zur Lochkameraaufnahme zu berechnen. Die Lochkameramethode, wie in EN 12543-2 und ASTM E 1165-20 beschrieben, ist im unteren Größenbereich für Mikrofokusröhren nicht geeignet, da Pinholes < 10 μm schwer zu fertigen sind und lange Belichtungszeiten erwartet werden. Mit Hilfe exakt gefertigter Lochblenden sowie strukturierter Targets mit
konvergierenden Strukturen wird der Bereich mit der Single-Shot-CT-Methode auf die Messung von Mikrofokusröhren, alternativ zur Vermessung von Kanten oder Strichgruppenkörpern, erweitert. Die rekonstruierten Brennfleckformen werden mit Kantenund Lochkameraaufnahmen quantitativ verglichen, um die Messgenauigkeit zu bewerten.
Außerdem werden CNR und Messzeit bestimmt, um die Wirtschaftlichkeit der Verfahren zu bewerten.
Advanced manufacturing has been identified as one of the key enabling technologies with applications in multiple industries. The growing importance of advanced manufacturing is reflected by an increased number of publications on this topic in recent years. Advanced manufacturing requires new and enhanced metrology methods to assure the quality of manufacturing processes and the resulting products. However, a high-level coordination of the metrology community is currently absent in this field and consequently this limits the impact of metrology developments on advanced manufacturing. In this article we introduce the new European Metrology Network (EMN) for Advanced Manufacturing within EURAMET, the European Association of National Metrology Institutes (NMIs). The EMN is intended to be operated sustainably by NMIs and Designated Institutes in close cooperation with Stakeholders interested in advanced manufacturing. The objectives of the EMN are to set up a permanent stakeholder dialogue, to develop a Strategic Research Agenda for the metrology input required for advanced manufacturing technologies, to create and maintain a knowledge sharing programme and to implement a web-based service desk for stakeholders. The EMN development is supported by a Joint Network Project within the European Metrology Programme for Innovation and Research.