Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
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3-Punkt Biegeversuche an Si-basierten Mikro/Nanodrähten wurden im REM mittels Mikromanipulator mit Kraftmessspitze durchgeführt. Die Kraft wurde nach Kalibrierung der Messspitze direkt abgegriffen. Die Auslenkung des Drahtes wurde durch eine Videosequenz im REM aufgenommen und anschließend über die Bildkorrelation ausgewertet. Kraft-Weg-Kurven konnten erstellt werden, um die elastischen Eigenschaften der Drähte zu ermitteln. Die Daten wurden mit FEM-Simulationen und Literatur verglichen. Bruchmechanische Eigenschaften wurden ebenfalls in guter Übereinstimmung mit anderen Verfahren quantifiziert.
Die Bildkorrelationssoftware Veddac 6 vom Fraunhofer ENAS wurde eingesetzt, um Biegeversuche an Si-basierten Nanostrukturen im Rasterelektronenmikroskop auszuwerten. Die Auswertung basiert auf der Verarbeitung einer Sequenz hochaufgelöster REM-Bilder. Die Veddac Software eignet sich besonders gut, um große Datenmengen und Bilder mit hohen Rauschen/geringen Kontrastunterschieden zu analysieren. Aus den Versuchen konnten verlässliche Kraft-Weg-Kurven ermittelt werden. Damit stellt das gezeigte, recht simple Verfahren eine Alternative zu bereits existierenden mechanischen Prüftests an Mikro/Nano-Objekten dar.