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Autor*in
Hertwig, Andreas
(1)
Erscheinungsjahr
2023
(1)
Dokumenttyp
Vortrag
(1)
Sprache
Englisch
(1)
Referierte Publikation
nein
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Schlagworte
Ellipsometry (1)
(entfernen)
Organisationseinheit der BAM
6 Materialchemie
(1)
6.1 Oberflächen- und Dünnschichtanalyse
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Eingeladener Vortrag
ja (1)
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Ellipsometry as a production measurement tool
(2023)
Hertwig, Andreas
Spectroscopic Ellipsometry is an enormously versatile measurement tool for surfaces and thin layers. We discuss the use of ellipsometry in the context of quality control in production processes of eletrconic devices.
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