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This poster presents the focused ion beam preparation methodologies developed within the framework of the EU funded EURAMET project ADVENT (Advanced Energy-Saving Technology).
It summarises the key breakthroughs achieved for various in situ investigation techniques, e.g. in situ experiments at the Synchrotron facility BESSY II (IR-SNOM and XRS), TEM and SMM instrumentation.
The created experimental devices from diverse thin-film semiconductor materials paved the way to dynamic structural studies bearing the potential to determine nanoscale correlations between strain and electric fields and, moreover, for the fundamental development of new in situ capabilities.
Der vorliegende Vortrag gibt einen Überblick über Probenpräparationen mit der Focused Ion Beam (FIB) für AFM-basierte Untersuchungsverfahren. Anhand zweier Beispiele wird gezeigt, wie ionenstrahlpolierte Lamellen aus Halbleiter-Schichtsystemen elektrisch leitfähig auf Substrate platziert werden, so dass in-situ und in-operando Messungen mit Scanning Microwave Microscope (SMM) bzw. Spectroscopic infrared scanning near-field optical microscope (IR-SNOM) durchgeführt werden können.