Methods for characterization of epoxy-functionalized substrates used for microarray applications, prepared by silanization with 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, have been developed. Contact angle measurements, X-ray photoelectron spectroscopy, time of flight secondary ion mass spectrometry and fluorescence based methods have been applied to investigate these epoxy-functionalized microarray substrates. The surface density of epoxy-functionalized glass slides was investigated by fluorescence labeling of surface species utilizing Rhodamine 110 as fluorescence probe.
Es wird gezeigt, dass mit einer Kombination der Oberflächenanalyseverfahren ESCA, ToF- SIMS und XAS eine erfolgreiche chemische Charakterisierung von Plasmapolymerfilmen erreicht werden kann. Es werden Elemente und Bindungstypen identifiziert und (semi-)quantitativ bestimmt. Eine Korrelation zwischen Abscheidebedingungen und chemischen Eigenschaften der Plasmapolymerschichten kann hergestellt werden; eine kontrollierte Abscheidung wird damit möglich. Alterungsprozesse, die als Folge einer Atmosphärenexposition auftreten, können beobachtet werden. Die direkte Verbindung der Analysetechniken mit einem Plasmareaktor ermöglicht es, die Alterungsphänomene der Schichten systematisch mit Bezug auf eine frisch abgeschiedene und keinerlei Atomsphäre ausgesetzte Plasmapolymerschicht zu studieren.
Die Verfahrensweise wird exemplarisch am Beispiel von Ethylen-, Allylamin- und Allylalkohol-Plasmapolymerschichten demonstriert.