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TEM-Untersuchungen der Randzonenschädigung von Aluminiumoxidkeramiken nach Schleifbearbeitung
(1996)
Es werden elektronenmikroskopische Untersuchungsergebnisse an Al2O3-Keramiken, die verschiedenen Oberflächenbearbeitungsverfahren unterworfen wurden, vorgestellt.
Die Untersuchungen dienen dem Ziel der Optimierung der Oberflächenbearbeitung von keramischen Werkstoffen, wobei der Einfluß leistungsfähiger Bearbeitungsverfahren auf die Ausbildung möglichst schädigungsarmer Oberflächenschichten, die keinen negativen Einfluß auf Festigkeitskennwerte aufweisen, betrachtet wird.
Die Wirkung verschiedener Schleif- und Polierprozesse auf Oberflächenveränderungen bearbeiteter Werkstücke wird dargestellt. Es wurde sowohl die Mikrostruktur der geschädigten Randzonenschicht als auch die des unbeeinflußten Grundmaterials mit elektronenmikroskopischen Methoden charakterisiert. Die verschiedenen Schädigungsstadien gestatten eine Einschätzung der Stärke des Störungseintrages in das Material durch verschiedene Schleif- und Polierprozesse.
Phasenbildung in Metall-Halbleiterkontaktschichten und Präparationstechnik für TEM-Untersuchung
(1995)
Transmission electron microscopy study of rapid thermally annealed Pd/Ge contacts on IN0.53Ga0.47As
(1996)
X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and cross-sectional transmission electron microscopy (XTEM) were used to study the formation of AlN films by N+2 ion implantation of aluminium at energies of 3 keV and 100 keV. In both cases, a two-stage mechanism was found, comprising first the oriented precipitation of small particles of the hexagonal AlN-phase, followed by growth and coalescence finally forming a continuous AlN-layer while increasing the implantation dose from 1×1017 cm-2 to 2×1017 cm-2. The results of both methods are in excellent agreement and furthermore provide complementary information concerning chemical composition and binding energies as well as microstructural details.