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Ade, G.
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Göbel, E. O.
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Herrmann, K.
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+ weitere
Erscheinungsjahr
2003 (1)
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Dokumenttyp
Forschungsbericht
(1)
Sprache
Deutsch
(1)
Referierte Publikation
nein
(1)
Schlagworte
Nanometerbereich
(1)
Schichtdicke
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Treffer
1
bis
1
Export
CSV
RIS
XML
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10
20
50
100
Kalibrierte Schichtdicken-Maßverkörperungen für Nanometerschichten, Teilvorhaben - Kalibrierung von Schichtdicken-Maßverkörperungen im Nanometerbereich - Abschlussbericht des BMBF Verbundvorhabens 13N7704 - 13N77041
(2003)
Göbel, E. O.
;
Hasche, K.
;
Ulm, G.
;
Krumrey, M.
;
Ade, G.
;
Stümpel, J.
;
Herrmann, K.
;
Koenders, L.
;
Thomsen-Schmidt, P.
;
Pohlenz, F.
;
Xu, M.
;
Dai, G.
;
Hoffmann, K.-P.
;
Busch, I.
;
Frank, W.
;
Procop, M.
;
Beck, Uwe
1
bis
1
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