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Autor*in
Cho, H.M. (1)
(entfernen)
Erscheinungsjahr
2003
(1)
Dokumenttyp
Forschungsbericht (1)
(entfernen)
Sprache
Englisch
(1)
Referierte Publikation
nein (1)
(entfernen)
Schlagworte
SiO2 (1)
(entfernen)
1
Treffer
1
bis
1
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CSV
RIS
XML
100
10
20
50
100
Ultra-thin SiO2 on Si, Part V: Results of a CCQM Pilot Study of Thickness Measurements
(2003)
Seah, M.P.
;
Spencer, S.J.
;
Bensebaa, F.
;
Vickridge, I.
;
Danzebrink, H.
;
Krumrey, M.
;
Gross, Thomas
;
Österle, Werner
;
Wendler, E.
;
Rheinländer, B.
;
Azuma, Y.
;
Kojima, I.
;
Suzuki, N.
;
Suzuki, M.
;
Tanuma, S.
;
Moon, D.W.
;
Lee, H.J.
;
Cho, H.M.
;
Chen, H.Y.
;
Wee, A. T. S.
;
Osipowicz, T.
;
Pan, J.S.
;
Jordaan, W.A.
;
Hauert, R.
;
Klotz, U.
;
van der Marel, C.
;
Verheijen, M.
;
Tamminga, Y.
;
Jeynes, C.
;
Bailey, P.
;
Biswas, S.
;
Falke, U.
;
Nguyen, N.V.
;
Chandler-Horowitz, D.
;
Ehrstein, J.R.
;
Muller, D.
;
Dura, J.A.
1
bis
1
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