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Ade, G.
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Beck, Uwe
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Hasche, K.
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Herrmann, K.
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Krumrey, M.
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Procop, Mathias
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Stümpel, J.
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Thomsen-Schmidt, P.
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Ulm, G.
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Erscheinungsjahr
2002
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Dokumenttyp
Beitrag zu einem Tagungsband (1)
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Sprache
Englisch (1)
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Referierte Publikation
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50
100
Realisation and metrological characterisation of thickness standards below 100 nm
(2002)
Thomsen-Schmidt, P.
;
Hasche, K.
;
Ulm, G.
;
Herrmann, K.
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Krumrey, M.
;
Ade, G.
;
Stümpel, J.
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Procop, Mathias
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Beck, Uwe
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