Metadaten| Autor*innen: | Patrick Steglich, Martin Paul, Tabea Fünning, Christoph Schumann, Christian Mai, Robert Tannenberg, Andreas Mai |
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| Persönliche Herausgeber*innen: | Pavel Cheben, Jiří Čtyroký, Iñigo Molina-Fernández |
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| Dokumenttyp: | Beitrag zu einem Tagungsband |
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| Veröffentlichungsform: | Verlagsliteratur |
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| Sprache: | Englisch |
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| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | SPIE - Integrated Optics: Design, Devices, Systems, and Applications VIII |
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| Jahr der Erstveröffentlichung: | 2025 |
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| Organisationseinheit der BAM: | 1 Analytische Chemie; Referenzmaterialien |
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| 1 Analytische Chemie; Referenzmaterialien / 1.5 Proteinanalytik |
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| Verlag: | SPIE |
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| Verlagsort: | Bellingham, WA , USA |
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| Jahrgang/Band: | 13530 |
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| Aufsatznummer: | 135300R |
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| Erste Seite: | 1 |
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| Letzte Seite: | 8 |
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| DDC-Klassifikation: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie |
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| Freie Schlagwörter: | CMOS; Local backside etching (LBE); Micro-ring resonator (MRR); Photonic sensors; Silicon on insulator (SOI) |
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| Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Chemie und Prozesstechnik |
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| Chemie und Prozesstechnik / Chemische Charakterisierung und Spurenanalytik |
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| Veranstaltung: | SPIE Optics + Optoelectronics 2025 |
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| Veranstaltungsort: | Prague, Czech Republic |
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| Beginndatum der Veranstaltung: | 05.06.2025 |
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| DOI: | 10.1117/12.3056280 |
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| Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
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| Datum der Freischaltung: | 03.07.2025 |
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| Referierte Publikation: | Nein |
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