Multi-scale optical imaging methods for quality control of electronic devices
- The presentation demonstrates an application of multi-scale optical imaging methods such as spectroscopic imaging ellipsometry and white light interference microscopy for the investigation of wide-bandgap semiconductors for power electronics. The capabilities of these methods for the development of new reference calibration samples for scanning microwave microscopes (SMM) and conductive atomic force microscopes (C AFM) are discussed.
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- Photonics_Days_2023_Vortrag_Ermilova.pdf
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| Autor*innen: | Elena Ermilova |
|---|---|
| Koautor*innen: | Matthias Weise, Andreas HertwigORCiD |
| Dokumenttyp: | Vortrag |
| Veröffentlichungsform: | Präsentation |
| Sprache: | Englisch |
| Jahr der Erstveröffentlichung: | 2023 |
| Organisationseinheit der BAM: | 6 Materialchemie |
| 6 Materialchemie / 6.1 Oberflächen- und Dünnschichtanalyse | |
| DDC-Klassifikation: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten |
| Freie Schlagwörter: | Imaging ellipsometry; Metrology; Nanoelectronics; Power electronics; Reference standards; White light interference microscopy |
| Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Material |
| Material / Nano | |
| Veranstaltung: | Photonics Days Berlin Brandenburg 2023 |
| Veranstaltungsort: | Berlin, Germany |
| Beginndatum der Veranstaltung: | 09.10.2023 |
| Enddatum der Veranstaltung: | 10.10.2023 |
| Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
| Datum der Freischaltung: | 11.04.2024 |
| Referierte Publikation: | Nein |
| Eingeladener Vortrag: | Ja |
