Zitieren Sie bitte immer diesen URN: urn:nbn:de:kobv:b43-593397
Optical and Tactile Measurements on SiC Sample Defects
- The different defect types on SiC samples are measured with various measurement methods including optical and tactile methods. The defect types investigated include particles, carrots and triangles and they are analyzed with imaging ellipsometry, coherent Fourier scatterometry and atomic force microscopy. Each of these methods measures different properties of the defects and they all together contribute to a complete analysis.
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| Autor*innen: | Jana Grundmann, Elena Ermilova, Andreas HertwigORCiD, Petr Klapetek, Silvania F. Pereira, Jila Rafighdoost, Bernd Bodermann |
|---|---|
| Dokumenttyp: | Beitrag zu einem Tagungsband |
| Veröffentlichungsform: | Graue Literatur |
| Sprache: | Englisch |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | SMSI 2023 Conference – Sensor and Measurement Science International |
| Jahr der Erstveröffentlichung: | 2023 |
| Organisationseinheit der BAM: | 6 Materialchemie |
| 6 Materialchemie / 6.1 Oberflächen- und Dünnschichtanalyse | |
| Veröffentlichende Institution: | Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM) |
| Verlag: | AMA Service |
| Verlagsort: | Wunstorf |
| Jahrgang/Band: | 2023/D5 |
| Erste Seite: | 233 |
| Letzte Seite: | 234 |
| DDC-Klassifikation: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie |
| Freie Schlagwörter: | Atomic force microscopy; Coherent Fourier scatterometry; Defects; Imaging ellipsometry; Silicon carbide |
| Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM: | Chemie und Prozesstechnik |
| Veranstaltung: | SMSI 2023 - Sensor and Measurement Science International |
| Veranstaltungsort: | Nuremberg, Germany |
| Beginndatum der Veranstaltung: | 08.05.2023 |
| Enddatum der Veranstaltung: | 11.05.2023 |
| DOI: | 10.5162/SMSI2023/D5.2 |
| URN: | urn:nbn:de:kobv:b43-593397 |
| ISBN: | 978-3-9819376-8-8 |
| Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei für die Öffentlichkeit verfügbar ("Open Access") |
| Lizenz (Deutsch): |  Allgemeines Deutsches Urheberrecht |
| Datum der Freischaltung: | 19.01.2024 |
| Referierte Publikation: | Nein |
| Schriftenreihen ohne Nummerierung: | Wissenschaftliche Artikel der BAM |
