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Calibrating a high-speed contact-resonance profilometer

  • A European EMPIR project, which aims to use large-scale piezoresistive microprobes for contact resonance applications, a well-established measurement mode of atomic force microscopes (AFMs), is being funded. As the probes used in this project are much larger in size than typical AFM probes some of the simplifications and assumptions made for AFM probes are not applicable. This study presents a guide on how to systematically create a model that replicates the dynamic behavior of microprobes, including air damping, nonlinear sensitivities, and frequency dependencies. The model is then verified by analyzing a series of measurements.

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Autor*innen:M. Fahrbach, Sebastian FriedrichORCiD, Brunero CappellaORCiD, Erwin Peiner
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Journal of Sensors and Sensor Systems
Jahr der Erstveröffentlichung:2020
Organisationseinheit der BAM:9 Komponentensicherheit
9 Komponentensicherheit / 9.5 Tribologie und Verschleißschutz
Veröffentlichende Institution:Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM)
Verlag:Copernicus Publications
Jahrgang/Band:9
Erste Seite:179
Letzte Seite:187
DDC-Klassifikation:Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten
Freie Schlagwörter:AFM; Piezoresistive cantilever; contact resonance
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Material
DOI:10.5194/jsss-9-179-2020
URN:urn:nbn:de:kobv:b43-509899
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei für die Öffentlichkeit verfügbar ("Open Access")
Lizenz (Deutsch):License LogoCreative Commons - CC BY - Namensnennung 4.0 International
Datum der Freischaltung:09.07.2020
Referierte Publikation:Nein
Schriftenreihen ohne Nummerierung:Wissenschaftliche Artikel der BAM
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