Analysis of the elemental composition and thickness of a Fe-Ni film on Si using Bruker ESPRIT and SAMx STRATAGem

  • Quantitative analysis of a bulk sample requires that the composition of the sample is homogeneous over the analyzed volume. For inhomogenous samples the calculation of the matrix effects is not correct and this can lead to wrong results in the element concentrations. For samples containing a layer structure a different quantitative evaluation has to be applied. This can be provided with the standard-based analysis in ESPRIT in combination with the STRATAGem software.

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Autor*innen:R. Terborg, Vasile-Dan HodoroabaORCiD
Dokumenttyp:Sonstiges
Veröffentlichungsform:Graue Literatur
Sprache:Englisch
Jahr der Erstveröffentlichung:2018
Organisationseinheit der BAM:6 Materialchemie
6 Materialchemie / 6.1 Oberflächen- und Dünnschichtanalyse
Herausgeber (Institution):Bruker Nano GmbH
Verlagsort:Berlin
Erste Seite:1
Letzte Seite:4
DDC-Klassifikation:Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie
Freie Schlagwörter:EPMA; SEM/EDX; Thin film analysis; k-values
Themenfelder/Aktivitätsfelder der BAM:Chemie und Prozesstechnik
URL:https://www.bruker.com/products/x-ray-diffraction-and-elemental-analysis/eds-wds-ebsd-sem-micro-xrf-and-sem-micro-ct/quantax-eds-for-sem/applications/layer-analysis.html
Verfügbarkeit des Dokuments:Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access")
Datum der Freischaltung:29.03.2018
Referierte Publikation:Nein
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