Interlaboratory comparison: optical property classification of carbon-based films by ellipsometry
- The paper addresses the “INTERLABORATORY COMPARISON: OPTICAL PROPERTY CLASSIFICATION OF CARBON-BASED FILMS BY ELLIPSOMETRY” and the following points are discussed in more detail: Established classification for mechanical properties, Complementary classification for optical properties, Ellipsometry for determination of optical constants n-k plane as material fingerprint, Samples, participants & set-ups (samples: Japan, participants: Japan, Germany, France, set-ups: Japan, Germany, USA) and Results of interlaboratory comparison: thickness, n & k.
| Autor*innen: | Uwe Beck, M. Hiratsuka |
|---|---|
| Koautor*innen: | Ch. Spindler, N. Ohtake, Andreas HertwigORCiD, J. Becker, J. Gäbler, Th. Neubert, M. Vergöhl, J. Winkler, C. Eypert |
| Dokumenttyp: | Vortrag |
| Veröffentlichungsform: | Präsentation |
| Sprache: | Englisch |
| Jahr der Erstveröffentlichung: | 2017 |
| DDC-Klassifikation: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie / Analytische Chemie |
| Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften / Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten | |
| Freie Schlagwörter: | Carbon-based Films; Ellipsometry; Interlaboratory Comparison; Optical Property |
| Veranstaltung: | ISO TC 107 Meeting Tokyo |
| Veranstaltungsort: | Tokio, Japan |
| Beginndatum der Veranstaltung: | 17.01 2017 |
| Enddatum der Veranstaltung: | 20.01.2017 |
| Verfügbarkeit des Dokuments: | Datei im Netzwerk der BAM verfügbar ("Closed Access") |
| Datum der Freischaltung: | 25.01.2017 |
| Referierte Publikation: | Nein |
| Eingeladener Vortrag (wissenschaftliche Konferenzen): | Nein |

