Photoablation with sub-10 fs laser pulses

  • Ablation experiments in several glasses with single and multishot irradiation by laser pulses in the 10-fs pulse duration domain are presented; physical and technological implications are discussed. We demonstrate that these short pulses offer the potential for lateral and vertical machining precision of the order of 100 nm.

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Metadaten
Autor*innen:Jörg KrügerORCiD, Wolfgang Kautek, M. Lenzner, F. Krausz
Dokumenttyp:Zeitschriftenartikel
Veröffentlichungsform:Verlagsliteratur
Sprache:Englisch
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch):Applied surface science
Jahr der Erstveröffentlichung:2000
Verlag:North-Holland
Verlagsort:Amsterdam
Jahrgang/Band:154-155
Erste Seite:11
Letzte Seite:16
Freie Schlagwörter:Ablation; Femtosecond pulses; Laser pulses
DOI:10.1016/S0169-4332(99)00432-8
ISSN:0169-4332
ISSN:1873-5584
Verfügbarkeit des Dokuments:Weder Datei noch physisches Exemplar vorhanden ("No Access")
Datum der Freischaltung:19.02.2016
Referierte Publikation:Ja
Datum der Eintragung als referierte Publikation:26.07.2000
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